ガラスと金属の気密接合は、山村フォトニクスのコア技術の中でも、最も古くから取り組んできたテーマです。

最初のコラムでは、弊社が長年にわたり培ってきたガラスと金属の気密接合技術について、4回に分けてご紹介します。

GTMS製品　　　　　　　　　　　　TO-Cap　　　　　　　　　　　　　　ガラスLID

山村フォトニクスの製品群のうち、ガラス加工製品（GTMS製品）と光学部品（TO-Cap、ガラスLID）には、

ガラスと金属の気密封止技術（GTMS: Glass to Metal Seal）が応用されています。この技術は、ガラスの転移点より

高い温度に加熱することで金属と固着させる方法で、高い気密性を実現することが可能です。山村フォトニクスでは、

ガラスと金属をダイレクトに接合する技術と、低融点シールガラスを用いて接合する技術の2つを有していますが、

気密性と信頼性の高い接合を実現するにはいくつかの条件を満たす必要があります。

◆ガラスと金属の気密接合における重要条件

①接合する部材同士で熱特性の整合が取れていること

②金属部材に適切な表面処理および酸化膜形成がなされていること

③接合時の適正な加熱により、ガラス中に金属酸化物の拡散層が形成されること

ガラスと金属を気密接合するためには、上記3つの条件を満たす必要があります。

次回より、それぞれの条件について詳しくご紹介していきます。